HMDS预处理系统产生的HMDS尾气处理设备，HMDS废气净化系统将HMDS涂到半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。从而产生的尾气需要净化处理后才可排放在大气中。

工业烤箱，半导体干燥烘箱工作室内温度由温控仪自动控制，并有自动恒温及时间控制装置，并附设有超温自动停电及蜂鸣电路，控制可靠，使用安全。适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、医药、实验室等生产及科研部门。

坚膜无尘烤箱，半导体无尘烘箱​用于高精度硅上薄膜电阻制造过程中坚膜工艺。也用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤。

氮气烤箱，充氮洁净烤箱用于IC封装，LCD,晶体管，传感器，二极管，石英晶体振荡器，混合集成电路板、高温固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求，适用于触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业.

非标无尘无氧烘箱，黄光区洁净烤箱应用于精密电子元件、PI、BCB胶高温固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求，适用于触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业.

黄光区电热鼓风烤箱，非标鼓风干燥箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料预处理烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

半导体百级洁净烘箱，芯片百级烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。