硅片充氮烘箱，半导体充氮烤箱是一种提供高温净化环境的特殊洁净烘干设备。烘箱整机为不锈钢结构，全部采用无尘材料，箱内持续充氮，使烘箱工作室内处于洁净状态。工作室内温度由温控仪自动控制，并有自动恒温及时间控制装置，并附设有超温自动停电及报警电路，控制可靠，使用安全。适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、医药、实验室等生产及科研部门。

硅片无氧烘箱，半导体厌氧烤箱，在工作时，工作室内充满了惰性气体CO2,N2,防止材料在烘烤时被氧化。无氧化烘箱在工业中的用途：IC包装，LCD,晶体管，传感器，二极管，石英晶体振荡器，混合集成电路板……

硅片洁净烘箱，半导体百级洁净烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验

SECS/GEM协议无尘烘箱，无尘烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤。设备可以使用TCP / IP（使用HSMS标准，SEMI E37）或基于RS-232的协议与支持GEM的主机进行通信。通常这两种协议都受支持。

芯片电热鼓风烤箱，可编程鼓风烘箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料预处理烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

芯片精密循环烤箱，可编程精密烘箱是一种高功能、高信赖度烤箱，结构、材质强度、保温、循环风道等均设计精良，且外形美观、操作方便。空气循环系统为水平式循环送风，风源由循环马达运转带动风轮经电热器，将热风由风道送至烤箱内部，且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热，如此可得到较佳的温度均匀性，均匀度可达±1.5％，当门开、关动作引起扰动时，可借此送风循环系统迅速回复操作

芯片充氮烘箱，可编程充氮烤箱充氮烤箱是一种提供高温净化环境的特殊洁净烘干设备。箱内空气封闭自循环。烘箱工作室为光亮型全不锈钢结构，可满足电子电器、医药、实验室等生产及科研部门中净化干燥。特殊要求温度可达350℃-400℃并且可加装氮气进出口。