充氮PI烤箱,PI充氮烤箱用于PI、BCB、LCP固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料烘干的特殊工艺要求适合半导体制造、COB封装、医疗卫生、柔性线路板印刷、精密模具煺火等行业的无氧化干燥烘烤工艺要求,广泛应用于电子产品、五金制品、医疗卫生、仪器仪表、工厂、高等院校、科研等行业。
晶圆退火烤箱,500度退火氮气烘箱晶圆退火需进行升温处理,升温处理具有多个升温阶段,每个升温阶段相应的升温速率不同,其中,所述多个区域在每个所述升温阶段中的温度不同;对所述多个区域进行保温处理;对多个区域采用氮气保护,该氮气烘箱采用辅助降温方式进行降温处理。
无氧烘箱,智能无氧双层烘箱可选用条形码上传IT后,接收由IT比对下载制程数据或直接接收IT所下载制程数据方式,系统并自动将制程写入温控器,达到远程制程下载,避免人员制程选择操作错误问题;
真空无氧烘箱,高温无氧真空烤箱用于PI胶、BCB胶固化,键合材料预处理,ITO膜退火,PR胶排胶固化等特殊工艺。适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、PCB板、半导体封装、医药、实验室等生产及科研部门。