充氮烘箱，充氮洁净烘箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、PCB板、半导体封装、医药、实验室等生产及科研部门。

全氟辛基三氯硅烷涂胶机，抗粘剂PFTS烘箱主要用于纳米压印光刻（NIL）应用，防粘涂层的制备，可用于光刻工艺中HMDS增粘剂涂胶；以及功率半导体,LED,MEMS,半导体分立器件等硅烷沉积涂胶工艺。

冷热冲击测试机，冷热循环气流仪在短的时间内（约10秒）检测样品因高低温冷热冲击（）-65℃～220℃）所引起的化学变化和物理伤害，减少测试与验证时间，快速提高产品研发和生产效率。广泛应用于通信、半导体、芯片、传感器等领域。

快速热处理退火炉，半导体RTP快速退火 炉可用于硅及其他化合物材料离子注入后的退火，硅化物形成，欧姆接触制备以及快速氧化，快速氮化等方面。该设备具有很好的长时间工作稳定性以及快速升降温，慢速升降温功能

不锈钢无尘烤箱，双层无尘烘箱应用于目前关键的半导体电子行业（如硅片干燥，坚膜烘烤，装片机后道烘烤，塑封后烘烤，治具烘烤等），另外，双层无尘烘箱还在LED制造行业中用于烘烤玻璃基板、无机材料行业中用于材料高精度工序。

无氧烘箱，无氧化烘箱在半导体集成电路制造过程中，晶圆表面预处理、涂胶、曝光前后的烘焙即曝光后烘烤（Post Exposure Bake，PEB）、对准、显影、显影后烘焙等因素都会对光刻工艺效果带来显著影响

百级无尘烘箱，不锈钢无尘烤箱用于IC生产中前烘、后烘烤、坚膜、装片机后端烘烤、塑封封装烘烤、光刻胶固化、治具干燥、薄膜烘烤、硅片干燥等工艺。